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离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性

孙鹏胡明张锋季一勤刘华松刘丹丹冷健杨明李钰

红外与毫米波学报2016，Vol.35Issue(2)：133-138,6.

红外与毫米波学报2016，Vol.35Issue(2)：133-138,6.DOI:10.11972/j.issn.1001-9014.2016.02.002

离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性

The infrared optical and mechanical properties of germanium carbide films prepared by ion beam sputtering

孙鹏 ¹胡明 ²张锋 ¹季一勤 ²刘华松 ²刘丹丹 ²冷健 ²杨明 ²李钰²

作者信息

1. 天津大学电子信息工程学院,天津 300072
2. 中国航天科工飞航技术研究院天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,天津 300308
折叠

摘要

关键词

离子束溅射沉积/碳化锗/红外光学特性/机械特性

Key words

ion beam sputtering deposition/germanium carbon/infrared optical property/mechanical property

分类

数理科学

引用本文复制引用

孙鹏,胡明,张锋,季一勤,刘华松,刘丹丹,冷健,杨明,李钰..离子束溅射法制备碳化锗薄膜的红外光学特性和力学特性[J].红外与毫米波学报,2016,35(2):133-138,6.

基金项目

Supported by National Natural Science Foundation of China (61235011),the Science and Technology Commission of Tianjin Municipality (13JCYBJC17300,12JCQNIC01200) （61235011）

红外与毫米波学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

ISSN：1001-9014

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