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固结磨料研磨蓝宝石晶片的工艺优化

郑方志朱永伟朱楠楠王凯沈琦

金刚石与磨料磨具工程2016，Vol.36Issue(1)：11-15,5.

金刚石与磨料磨具工程2016，Vol.36Issue(1)：11-15,5.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.1.0003

Parameter optimization of sapphire wafer lapping with fixed abrasive pad

郑方志 ¹朱永伟 ¹朱楠楠 ¹王凯 ¹沈琦¹

作者信息

亲水性固结磨料/蓝宝石晶片/研磨/去除率/表面粗糙度

hydrophilic fixed abrasive pad/sapphire wafer/lapping/material removal rate/surface roughness

矿业与冶金

郑方志,朱永伟,朱楠楠,王凯,沈琦..固结磨料研磨蓝宝石晶片的工艺优化[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(1):11-15,5.

航空科学基金(2014ZE52055) （2014ZE52055）

国家自然科学基金(51175260). （51175260）

OACSTPCD

ISSN：1006-852X

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