金刚石与磨料磨具工程2016，Vol.36Issue(1)：31-33,3.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.1.0007
灯丝间距对CVD金刚石厚膜生长的影响
Influence of distance between filaments on preparation of diamond thick films
赵志岩 1周明于 1郝超1
作者信息
- 1. 廊坊西波尔钻石技术有限公司,河北廊坊065300
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摘要
关键词
热丝化学气相沉积/金刚石厚膜/灯丝间距/围挡Key words
hot filament chemical vapor deposition/diamond thick films/distance between filaments/enclosure分类
化学化工引用本文复制引用
赵志岩,周明于,郝超..灯丝间距对CVD金刚石厚膜生长的影响[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(1):31-33,3.
