有色金属科学与工程2016，Vol.7Issue(1)：41-47,7.DOI:10.13264/j.cnki.ysjskx.2016.01.009
直流反应磁控溅射沉积a-C∶H薄膜的微结构和摩擦磨损行为
Microstructures and tribological properties of a-C∶H film prepared by DC reactive magnetron sputtering
摘要
关键词
磁控溅射/a-C∶H薄膜/微结构/摩擦磨损Key words
magnetron sputtering/a-C∶H film/microstructure/friction and wear分类
机械制造引用本文复制引用
刘龙,周升国,王跃臣,刘正兵,马利秋..直流反应磁控溅射沉积a-C∶H薄膜的微结构和摩擦磨损行为[J].有色金属科学与工程,2016,7(1):41-47,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51302116) （51302116）
中科学院兰化所国家重点实验室开放基金项目(LSL-1203) （LSL-1203）
