人工晶体学报2016，Vol.45Issue(4)：892-895,900,5.
以硅片线锯屑和石英为原料合成氮氧化硅粉体研究
Synthesis of Silicon Oxynitride from Silicon Sawdust and Quartz
摘要
关键词
氮氧化硅/硅锯屑/石英Key words
silicon oxynitride/silicon sawdust/quartz分类
化学化工引用本文复制引用
李兵,尹传强,魏秀琴,周浪..以硅片线锯屑和石英为原料合成氮氧化硅粉体研究[J].人工晶体学报,2016,45(4):892-895,900,5.基金项目
江西省优势科技创新团队计划专项(20113BCB24007) （20113BCB24007）
有色金属及特色材料加工重点实验室开放基金(12KF-20) （12KF-20）
