人工晶体学报2016，Vol.45Issue(4)：906-912,7.
气体进出方式对MPCVD大面积金刚石膜均匀性的影响
Uniform Variation of Large-area Diamond Films Deposited by MPCVD with Different Gas-inlet and-outlet Locations
摘要
关键词
气体进出方式/MPCVD/金刚石膜/均匀性/流场模拟Key words
gas inlet and outlet location/MPCVD/diamond film/uniformity/gas flow field simulation分类
矿业与冶金引用本文复制引用
钟强,黑鸿君,李晓静,张阿莉,申艳艳,刘小萍,于盛旺..气体进出方式对MPCVD大面积金刚石膜均匀性的影响[J].人工晶体学报,2016,45(4):906-912,7.基金项目
山西省自然科学基金(2013011012-4) （2013011012-4）
浙江省公益技术应用项目(2014C31113) （2014C31113）
宁波市自然科学基金项目(2014A610012) （2014A610012）
国家自然科学基金(51474154,11405114) （51474154,11405114）
