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衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

娄建忠 李振娜 方晓燕 代秀红 宋安英 宋建民 刘保亭

人工晶体学报2016,Vol.45Issue(4):951-955,5.
人工晶体学报2016,Vol.45Issue(4):951-955,5.

衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响

Effect of Substrate Material on Dielectric Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film Interdigital Capacitors

娄建忠 1李振娜 1方晓燕 1代秀红 2宋安英 2宋建民 2刘保亭2

作者信息

  • 1. 河北大学电子信息工程学院,河北省数字医疗工程重点实验室,保定071002
  • 2. 河北大学物理科学与技术学院,河北省光电信息材料重点实验室,保定071002
  • 折叠

摘要

关键词

脉冲激光沉积/Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜/外延/介电性能

Key words

pulsed-laser deposition/Ba0.6Sr0.4TiO3 thin film/epitaxial/dielectric propery

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

娄建忠,李振娜,方晓燕,代秀红,宋安英,宋建民,刘保亭..衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响[J].人工晶体学报,2016,45(4):951-955,5.

基金项目

国家自然科学基金(11374086) (11374086)

河北省自然科学基金(E2013201176,E2014201188,E2014201063) (E2013201176,E2014201188,E2014201063)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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