人工晶体学报2016,Vol.45Issue(4):951-955,5.
衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响
Effect of Substrate Material on Dielectric Properties of Ba0.6Sr0.4TiO3 Thin Film Interdigital Capacitors
摘要
关键词
脉冲激光沉积/Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜/外延/介电性能Key words
pulsed-laser deposition/Ba0.6Sr0.4TiO3 thin film/epitaxial/dielectric propery分类
通用工业技术引用本文复制引用
娄建忠,李振娜,方晓燕,代秀红,宋安英,宋建民,刘保亭..衬底材料对Ba0.6Sr0.4TiO3薄膜介电性能的影响[J].人工晶体学报,2016,45(4):951-955,5.基金项目
国家自然科学基金(11374086) (11374086)
河北省自然科学基金(E2013201176,E2014201188,E2014201063) (E2013201176,E2014201188,E2014201063)