基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计OA北大核心CSTPCD
Control system design of long-stroke linear motor based on fractional order PID and internal model control
为了对长行程直线电机进行精确伺服控制,提出了一种结合分数阶PID及内模控制原理的控制系统.以内模控制器作为电流环控制器、分数阶PID作为位置环控制器,在简化了控制器设计、降低调试难度的同时,保证了跟踪精度.最后,对长行程直线电机驱动的光刻机掩模台宏动台进行了仿真验证,验证了所提出的控制策略的有效性.
陈兴林;陈震宇
哈尔滨工业大学控制科学与工程系,哈尔滨 150001哈尔滨工业大学控制科学与工程系,哈尔滨 150001
信息技术与安全科学
分数阶PID控制内模控制控制系统设计直线电机光刻机
fractional order PID controlinternal model controlcontrol system designlinear motorlithography machine
《天津工业大学学报》 2016 (1)
59-64,6
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02207)
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