天津工业大学学报2016，Vol.35Issue(1)：59-64,6.DOI:10.3969/j.issn.1671-024x.2016.01.012
基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计
Control system design of long-stroke linear motor based on fractional order PID and internal model control
摘要
关键词
分数阶PID控制/内模控制/控制系统设计/直线电机/光刻机Key words
fractional order PID control/internal model control/control system design/linear motor/lithography machine分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈兴林,陈震宇..基于分数阶PID及内模原理的长行程直线电机控制系统设计[J].天津工业大学学报,2016,35(1):59-64,6.基金项目
国家科技重大专项基金资助项目(2009ZX02207) （2009ZX02207）
