物理化学学报2016，Vol.32Issue(3)：787-792,6.DOI:10.3866/PKU.WHXB201512183
蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯
Epitaxial Graphene on Sapphire Substrate by Chemical Vapor Deposition
摘要
关键词
石墨烯/蓝宝石/化学气相沉积法/生长温度/刻蚀机理Key words
Graphene/Sapphire/Chemical vapor deposition/Growth temperature/Etching mechanism分类
化学化工引用本文复制引用
刘庆彬,蔚翠,何泽召,王晶晶,李佳,芦伟立,冯志红..蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯[J].物理化学学报,2016,32(3):787-792,6.基金项目
The project was supported by the National Natural Science Foundation of China (61306006).国家自然科学基金(61306006)资助项目 （61306006）
