真空电子技术Issue(2)：64-68,5.
新型程控真空碳化设备研制与应用
Development and Application of Program-Controlled Vacuum Carbonization Equipments
唐榕 1张吉峰1
作者信息
- 1. 北京真空电子技术总公司,北京100015
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摘要
关键词
碳化压力/阴极电流/碳化时间/程控控制/一致性Key words
Carbonization pressure/Cathode current/Carbonization time/Program-controlled/Uniformity分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
唐榕,张吉峰..新型程控真空碳化设备研制与应用[J].真空电子技术,2016,(2):64-68,5.
