材料科学与工程学报2016，Vol.34Issue(3)：348-352,366,6.DOI:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.03.002
薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO∶Ga薄膜应力的影响
Influence of Film Thickness and Sputtering Power on Stress Properties of Ga ∶ ZnO Thin Films on Polymer Substrate
摘要
关键词
ZnO∶Ga薄膜/应力/基片曲率法/直流磁控溅射/有机衬底Key words
Ga doped ZnO/stress/wafer curvature method/DC magnetron sputtering/polymer substrate分类
通用工业技术引用本文复制引用
张哲浩,吕建国,江庆军,叶志镇..薄膜厚度和溅射功率对有机衬底上ZnO∶Ga薄膜应力的影响[J].材料科学与工程学报,2016,34(3):348-352,366,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(51172204) （51172204）
