上海有色金属2016，Vol.37Issue(1)：43-47,5.DOI:10.13258/j.cnki.snm.2016.01.009
防止重掺砷CZ单晶硅组分过冷的探讨
Discussionon Preventing Heavily Arsenic-doped Czochralski Silicon Crystal from Constitutional Supercooling
韩建超1
作者信息
- 1. 上海合晶硅材料有限公司,上海201617
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摘要
关键词
组分过冷/重掺砷单晶硅/温度梯度/数值模拟分类
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韩建超..防止重掺砷CZ单晶硅组分过冷的探讨[J].上海有色金属,2016,37(1):43-47,5.
