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气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

赵红军 李昊罡 颜亮 李川

微型机与应用2016，Vol.35Issue(9)：8-11,4.
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微型机与应用2016，Vol.35Issue(9)：8-11,4.DOI:10.19358/j.issn.1674-7720.2016.09.003

气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展

The recent progress of discharge produced plasma extreme ultraviolet source

赵红军 1李昊罡 2颜亮 2李川3

作者信息

  • 1. 绵阳职业技术学院 信息工程系,四川 绵阳 621000
  • 2. 西安交通大学,电力设备电气绝缘国家重点实验室,陕西 西安 710049
  • 3. 南方电网综合能源有限公司,广东 广州 510075
  • 折叠

摘要

关键词

极紫外光源/气体放电等离子体/毛细管放电/激光辅助放电/等离子体聚焦/中空阴极触发等离子体箍缩

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵红军,李昊罡,颜亮,李川..气体放电等离子体(DPP)极紫外光源研究进展[J].微型机与应用,2016,35(9):8-11,4.

基金项目

四川省自然科学基金项目(14ZB0267) （14ZB0267）

微型机与应用

2097-1788

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