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考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究

何江波 谢进 何晓平 杜连明 周吴

机械科学与技术2016，Vol.35Issue(5)：752-757,6.
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机械科学与技术2016，Vol.35Issue(5)：752-757,6.DOI:10.13433/j.cnki.1003-8728.2016.0517

考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究

Research on Nonlinear Error of Micro-accelerometers Considering the Fringe and Parasitic Capacitance

何江波 1谢进 1何晓平 2杜连明 2周吴3

作者信息

  • 1. 西南交通大学机械工程学院,成都610031
  • 2. 中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900
  • 3. 电子科技大学机械电子工程学院,成都611731
  • 折叠

摘要

关键词

微加速度计/边缘电容/寄生电容/非线性误差/有限元法

Key words

finite element method/fringe capacitance/Micro-accelerometer/nonlinear error/parasitic capacitance

分类

机械制造

引用本文复制引用

何江波,谢进,何晓平,杜连明,周吴..考虑边缘和寄生电容的微加速度计的非线性误差研究[J].机械科学与技术,2016,35(5):752-757,6.

基金项目

国家自然科学基金项目(51175437)资助 （51175437）

机械科学与技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1003-8728

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