电工技术学报2016，Vol.31Issue(6)：38-46,9.
基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制
A Robust Adaptive Neural Network Control Method Based on Permanent Magnetic Linear Synchronous Motor for the Reticle Stage of Lithography
摘要
关键词
永磁直线同步电机/光刻机掩模台/鲁棒自适应/神经网络/运动控制Key words
Permanent magnetic linear synchronous motor/reticle stage of lithography/robust adaptive/neural network/motion control分类
动力与电气工程引用本文复制引用
王一光,李晓杰,陈兴林..基于永磁直线同步电机的光刻机掩模台鲁棒自适应神经网络控制[J].电工技术学报,2016,31(6):38-46,9.基金项目
国家重点基础研究发展计划(973计划)(10007.07-LB7)和国家科技重大专项(2009ZX02207)资助项目. （973计划）
