光学精密工程2016，Vol.24Issue(4)：690-697,8.DOI:10.3788/OPE.20162404.0690
弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术
Phase-modulated ellipsometry combined photo-elastic modulation with electro-optic modulation
摘要
关键词
椭偏仪/相位调制型椭偏测量术/弹光调制/电光调制Key words
ellipsometer/phase-modulated ellipsometry/photo-elastic modulation/electro-optic modulation分类
物理学引用本文复制引用
李克武,王黎明,王志斌,张瑞,薛瑞,陈友华..弹光和电光级联的组合相位调制型椭偏测量术[J].光学精密工程,2016,24(4):690-697,8.基金项目
国家国际科技合作专项(No.2013DFR10150) （No.2013DFR10150）
国家自然科学基金资助项目(No.61127015,No.61471325,No.61505179 （）
山西省青年科技研究基金资助项目(No.2014021012) （No.2014021012）
