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高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

徐明飞庞武斌徐象如王新华黄玮

光学精密工程2016，Vol.24Issue(4)：740-746,7.

光学精密工程2016，Vol.24Issue(4)：740-746,7.DOI:10.3788/OPE.20162404.0740

高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

Optical design of high-numerical aperture lithographic lenses

徐明飞 ¹庞武斌 ²徐象如 ¹王新华 ¹黄玮²

作者信息

1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春130033
2. 中国科学院大学,北京100049
折叠

摘要

关键词

光学设计/高数值孔径(NA)投影光刻物镜/深紫外投影光刻物镜/远心度/曲面光阑

Key words

optical system design/high Numerical Aperture (NA)lithographic lens/Deep Ultraviolet (DUV)lithographic lens/telecentricity/curved stop aperture

分类

电子信息工程

引用本文复制引用

徐明飞,庞武斌,徐象如,王新华,黄玮..高数值孔径投影光刻物镜的光学设计[J].光学精密工程,2016,24(4):740-746,7.

基金项目

国家科技重大专项基金资助项目(No.2012ZX02701001-007) （No.2012ZX02701001-007）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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