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基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置

丁健生史国权石广丰

光学精密工程2016，Vol.24Issue(4)：819-825,7.

光学精密工程2016，Vol.24Issue(4)：819-825,7.DOI:10.3788/OPE.20162404.0819

Grating ruling platform leveling device based on image clarity measurement

丁健生 ¹史国权 ¹石广丰¹

作者信息

光栅刻划/光栅刻划平台/调平装置/图像清晰度测量/评价函数

grating ruling/grating ruling platform/leveling device/image clarity measurement/, evaluation function

信息技术与安全科学

丁健生,史国权,石广丰..基于图像清晰度检测的光栅刻划平台调平装置[J].光学精密工程,2016,24(4):819-825,7.

国家自然科学基金资助项目(No.51405031,No.51575057) （No.51405031,No.51575057）

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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