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阳极Ta/Ta2O5的薄膜曲界面结构特征及形成机理

石维 杨邦朝 张选红 马建华 肖毅 王兴伟 彭丹

四川大学学报(自然科学版)2016,Vol.53Issue(2):409-412,4.
四川大学学报(自然科学版)2016,Vol.53Issue(2):409-412,4.DOI:103969/j.issn.0490-6756.2016.03.026

阳极Ta/Ta2O5的薄膜曲界面结构特征及形成机理

Curved surface structure characteristics and forming mechanism of anode Ta/Ta2O5 film

石维 1杨邦朝 2张选红 3马建华 3肖毅 2王兴伟 2彭丹2

作者信息

  • 1. 铜仁学院材料与化学工程学院,铜仁,554300
  • 2. 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司,贵阳550018
  • 3. 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都610054
  • 折叠

摘要

关键词

钽电解电容器/Ta2O5薄膜/微结构/电场畸变/曲面

Key words

Tantalum electrolytic capacitor/Ta2O5 thin films/Microstructure/Electric field distortion/Curved Surface

分类

化学化工

引用本文复制引用

石维,杨邦朝,张选红,马建华,肖毅,王兴伟,彭丹..阳极Ta/Ta2O5的薄膜曲界面结构特征及形成机理[J].四川大学学报(自然科学版),2016,53(2):409-412,4.

基金项目

贵州省教育厅125重大专项字[2013](027) (027)

贵州省科技厅项目(黔省专合字2012(06)) (黔省专合字2012(06)

四川大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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