微波法制备单晶金刚石的研究进展OA
Research Progress in Preparation of Mono-Crystal Diamond by Microwave Method
人工合成金刚石的方法主要有高温高压法和化学气相沉积法两种。高温高压法制备的金刚石尺寸小，无法避免金属杂质使得制备的金刚石应用受到限制。在所有的化学气相沉积中，微波等离子体化学气相沉积法具有无放电污染，能量转换效率高，工艺参数易于调节等优点。用微波等离子体化学气相沉积法制备大尺寸、高速率、高质量的单晶金刚石受到广泛重视。介绍了微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石的制备工艺，对提高金刚石生长速率，扩大金刚石单晶尺寸两个方面的研究进展进行了综述，并对单晶金刚石的前景进行了展望。
The high temperature and high pressure and the chemical vapor deposition are the main methods for preparing synthetic diamond. The diamond prepared by the high temperature and high pressure has too small sizes with metal impurities, which restricts its application. Microwave plasma chemical vapor deposition has advantages of no discharge pollution, high energy conversion efficiency, and adjustable process parameters, compared with other chemical vapor deposi…查看全部>>
黄平;汪建华;刘繁;翁俊;王小安
等离子体化学与新材料湖北省重点实验室 武汉工程大学，湖北 武汉 430074等离子体化学与新材料湖北省重点实验室 武汉工程大学，湖北 武汉 430074等离子体化学与新材料湖北省重点实验室 武汉工程大学，湖北 武汉 430074等离子体化学与新材料湖北省重点实验室 武汉工程大学，湖北 武汉 430074等离子体化学与新材料湖北省重点实验室 武汉工程大学，湖北 武汉 430074
微波等离子体化学气相沉积单晶金刚石
microwave plasmachemical vapor depositionsingle-crystal diamond
《武汉工程大学学报》 2016 (4)
357-363,7
湖北省教育厅科学技术研究计划优秀中青年人才项目（Q20151517）；武汉工程大学科学研究基金项目（K201506）
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