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教研资源共享的“微电子工艺实验”改革

廖荣

实验科学与技术2016,Vol.14Issue(3):108-109,170,3.
实验科学与技术2016,Vol.14Issue(3):108-109,170,3.DOI:10.3969/j.issn.1672-4550.2016.03.031

教研资源共享的“微电子工艺实验”改革

"Microelectronic Technology Experiment" Reform Based on the Teaching and Scientific Research Shared Resources

廖荣1

作者信息

  • 1. 华南理工大学电子与信息学院,广州510641
  • 折叠

摘要

关键词

微电子工艺实验/薄膜场效应晶体管/教学改革/流水实验

分类

社会科学

引用本文复制引用

廖荣..教研资源共享的“微电子工艺实验”改革[J].实验科学与技术,2016,14(3):108-109,170,3.

基金项目

2013年华南理工大学教研教改项目(x2dx-Y1130010) (x2dx-Y1130010)

华南理工大学第一批“探索性实验”教学项目(x2dx-Y1140610). (x2dx-Y1140610)

实验科学与技术

1672-4550

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