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保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

林涛 孙艳辉 段春艳 章大钧

材料科学与工程学报2016,Vol.34Issue(4):643-646,672,5.
材料科学与工程学报2016,Vol.34Issue(4):643-646,672,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.04.027

保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响

Influence of Soaking Time on Polycrystalline Silicon Purification during Directional Solidification

林涛 1孙艳辉 2段春艳 3章大钧3

作者信息

  • 1. 佛山职业技术学院电子信息系,广东佛山 528137
  • 2. 华南师范大学化学与环境学院,广东广州 510006
  • 折叠

摘要

关键词

保温时间/定向凝固/多晶硅/提纯

Key words

holding time/directional solidification/poly-silicon/purify

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林涛,孙艳辉,段春艳,章大钧..保温时间对定向凝固法提纯多晶硅的影响[J].材料科学与工程学报,2016,34(4):643-646,672,5.

基金项目

广东省高等职业教育教学改革立项资助项目(20130301002) (20130301002)

材料科学与工程学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1673-2812

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