光学精密工程2016，Vol.24Issue(7)：1550-1556,7.DOI:10.3788/OPE.20162407.1550
计量线5～140nm波段高次谐波分布及其抑制
Distribution and suppression of higher-order harmonics of metrology beamline in 5～140 nm
摘要
关键词
同步辐射/光谱计量/高次谐波/抑制Key words
synchrotron radiation/spectral metrology/higher-order harmonics/suppression分类
数理科学引用本文复制引用
周洪军,夏玄志,霍同林,郑津津..计量线5～140nm波段高次谐波分布及其抑制[J].光学精密工程,2016,24(7):1550-1556,7.基金项目
国家自然科学基金面上项目大科学装置联合基金资助项目(No.U1332130) （No.U1332130）
国家973重点基础研究发展计划资助项目(No.2014CB931804) （No.2014CB931804）
111引智工程资助项目(No.B07033) （No.B07033）
