光学精密工程2016，Vol.24Issue(7)：1557-1563,7.DOI:10.3788/OPE.20162407.1557
2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性
Surface modification of 2 m RB-SiC substrate by magnetron sputtering
摘要
关键词
光学加工/磁控溅射/表面改性/RB-SiC/大口径Key words
optical fabrication/magnetron sputtering/surface modification/RB-SiC/large aperture分类
数理科学引用本文复制引用
刘震,高劲松,刘海,王笑夷,王彤彤..2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性[J].光学精密工程,2016,24(7):1557-1563,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.60478035) （No.60478035）
