光学精密工程2016，Vol.24Issue(7)：1623-1631,9.DOI:10.3788/OPE.20162407.1623
软性粒子抛光石英玻璃的材料去除机理
Material removal mechanism for fused glass by using soft particles
摘要
关键词
石英玻璃/化学机械抛光/软性抛光粒子/材料去除机理/去除速率模型Key words
fused glass/chemico-mechanical polishing/soft polishing particle/material removal mechanism/model of material removal rate分类
化学化工引用本文复制引用
刘德福,陈涛,陈广林,胡庆..软性粒子抛光石英玻璃的材料去除机理[J].光学精密工程,2016,24(7):1623-1631,9.基金项目
国家自然科学基金面上资助项目(No.51275534) （No.51275534）
湖南省自然科学基金资助项目(No.2015JJ2153) （No.2015JJ2153）
