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热丝CVD金刚石涂层膜基界面结合强度研究新进展

简小刚 朱正宇 雷强

金刚石与磨料磨具工程2016,Vol.36Issue(3):11-16,6.
金刚石与磨料磨具工程2016,Vol.36Issue(3):11-16,6.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.3.0003

热丝CVD金刚石涂层膜基界面结合强度研究新进展

New progress on the improvement of adhesive strength of HFCVD diamond coating

简小刚 1朱正宇 1雷强1

作者信息

  • 1. 同济大学,上海201804
  • 折叠

摘要

关键词

热丝化学气相沉积/金刚石涂层/膜基界面结合强度

Key words

hot filament chemical vapor deposition (HFCVD)/diamond coating/adhesive strength of film-substrate interface

分类

化学化工

引用本文复制引用

简小刚,朱正宇,雷强..热丝CVD金刚石涂层膜基界面结合强度研究新进展[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(3):11-16,6.

基金项目

国家自然科学基金资助(51275358) (51275358)

中央高校专项基金资助(20140750). (20140750)

金刚石与磨料磨具工程

OACSTPCD

1006-852X

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