金刚石与磨料磨具工程2016，Vol.36Issue(3)：43-49,7.DOI:10.13394/j.cnki.jgszz.2016.3.0009
A向蓝宝石化学机械抛光研究
Investigation on the chemical mechanical polishing of A-plane sapphire
摘要
关键词
A向蓝宝石/化学机械抛光/氟化铵/材料去除速率/表面粗糙度Key words
A plane sapphire/chemical mechanical polishing/NH4 F/material removal rate/surface roughness分类
矿业与冶金引用本文复制引用
王金普,白林山,储向峰..A向蓝宝石化学机械抛光研究[J].金刚石与磨料磨具工程,2016,36(3):43-49,7.基金项目
国家自然科学基金项目(50975002) （50975002）
教育部高校留学回国人员科研项目 （）
安徽省教育厅自然科学基金(KJ2011A057). （KJ2011A057）
