宇航材料工艺2016,Vol.46Issue(4):8-12,28,6.DOI:10.3969/j.issn.1007-2330.2016.04.002
化学气相沉积法制备氮化硼界面涂层的研究进展
Progress on Boron Nitride Interface Coating Achieved by CVD
摘要
关键词
界面相涂层/氮化硼/化学气相沉积/三氯化硼/氨气Key words
Interface coating/BN/CVD/BCl3/NH3分类
通用工业技术引用本文复制引用
李琳琳,李爱军,彭雨晴,李照谦,汤哲鹏..化学气相沉积法制备氮化硼界面涂层的研究进展[J].宇航材料工艺,2016,46(4):8-12,28,6.基金项目
航空科学基金SiCf/SiC复合陶瓷浮动壁应用的基础研究(2013ZFS6001) (2013ZFS6001)