影像科学与光化学2016，Vol.34Issue(4)：371-379,9.DOI:10.7517/j.issn.1674-0475.2016.04.371
RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用
Synthesis of Methacrylate Copolymer via RAFT Polymerization and Their Application in Negative Photoresist
摘要
关键词
可逆加成-断裂链转移聚合(RAFT)/甲基丙烯酸酯共聚物/光致抗蚀剂Key words
reversible addition-fragmentation chain transfer polymerization (RAFT)/methacrylate copolymer/photoresist引用本文复制引用
林立成,徐文佳,刘敬成,刘仁,穆启道,刘晓亚..RAFT聚合法合成甲基丙烯酸酯共聚物及其在负性光致抗蚀剂中的应用[J].影像科学与光化学,2016,34(4):371-379,9.基金项目
国家重大科技专项(2010ZX02304)、江苏省产学研前瞻性联合研究项目(BY2015019-14)和中央高校基本科研业务费专项资金(JUSRP11514)资助 （2010ZX02304）
