光通信技术2016，Vol.40Issue(6)：47-49,3.DOI:10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2016.06.014
新型微机电系统的光纤传感器设计及应用
New MEMS optical fiber sensor design and application
摘要
关键词
微电子机械系统/传感器/MIM波导/微纳光纤Key words
microelectronics mechanical systems/sensor/MIM waveguide/Micro-nano optical fiber分类
数理科学引用本文复制引用
吴勇翀,刘艳峰..新型微机电系统的光纤传感器设计及应用[J].光通信技术,2016,40(6):47-49,3.基金项目
国家自然科学基金(61379026)资助 （61379026）
陕西省科学技术研究发展计划项目(工业攻关)(2014K05-61)资助 （工业攻关）
陕西省教育厅2011年科学研究项目计划(11JK0915)资助 （11JK0915）
陕西省高水平大学建设专项资金资助项目(物理学2012SXTS05)资助 （物理学2012SXTS05）
延安大学大学物理实验精品课程(YDJPKC11-21)资助. （YDJPKC11-21）
