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半导体刻蚀设备中真空系统的设计优化

陈妙娟

机电信息Issue(21)：128-130,3.
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机电信息Issue(21)：128-130,3.

半导体刻蚀设备中真空系统的设计优化

陈妙娟1

作者信息

  • 1. 中微半导体设备上海有限公司，上海201606
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摘要

关键词

刻蚀设备/真空系统/真空泵/优化

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陈妙娟..半导体刻蚀设备中真空系统的设计优化[J].机电信息,2016,(21):128-130,3.

机电信息

1671-0797

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