烟台大学学报（自然科学与工程版）2016，Vol.29Issue(3)：199-203,5.DOI:10.13951/j.cnki.37-1213/n.2016.03.008
HEMT压力传感器
HEMT Pressure Sensor
张昌盛1
作者信息
- 1. 烟台大学光电信息科学技术学院,山东烟台264005
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摘要
关键词
Ⅲ族氮化物半导体/二维电子气/高电子迁移率场效应管/压强传感器Key words
Ⅲ nitride semiconductor/two-dimensional electron gas/high-electron mobility transistor/pressure sensor分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张昌盛..HEMT压力传感器[J].烟台大学学报（自然科学与工程版）,2016,29(3):199-203,5.
