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改变二十一世纪的MEMS技术

农学学报Issue(7):P.43-44,2.
农学学报Issue(7):P.43-44,2.

改变二十一世纪的MEMS技术

摘要

关键词

微型电子机械系统/传感器/施乐公司/技术/九十年代/计算机/模型/八十年代/微型芯片/立体交叉

分类

机械制造

引用本文复制引用

..改变二十一世纪的MEMS技术[J].农学学报,1997,(7):P.43-44,2.

农学学报

2095-4050

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