光学精密工程2016，Vol.24Issue(8)：1927-1933,7.DOI:10.3788/OPE.20162408.1927
小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试
Implementation and measurement of a miniaturized silicon resonant accelerometer
摘要
关键词
硅微谐振式加速度计/专用集成电路/SOI工艺/真空封装/小型化/低功耗Key words
Silicon Resonant Accelerometer(SRA)/Application Specified Integrated Circuit (ASIC)/SOI process/vacuum packaging/miniaturization/low power分类
机械制造引用本文复制引用
赵健,施芹,夏国明,裘安萍,吴志强,苏岩..小型化硅微谐振式加速度计的实现与性能测试[J].光学精密工程,2016,24(8):1927-1933,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.61301214) （No.61301214）
