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PID温度控制在真空镀膜机应用研究

王辰 孙鹏 秦美荣

电源技术2016,Vol.40Issue(7):1465-1466,1494,3.
电源技术2016,Vol.40Issue(7):1465-1466,1494,3.

PID温度控制在真空镀膜机应用研究

Application of PID temperature control in vacuum coating machine

王辰 1孙鹏 1秦美荣1

作者信息

  • 1. 天津恒电空间电源有限公司,天津300384
  • 折叠

摘要

关键词

PID温度控制/参数整定/真空镀膜机

Key words

PID temperature control/parameter setting/vacuum coating machine

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

王辰,孙鹏,秦美荣..PID温度控制在真空镀膜机应用研究[J].电源技术,2016,40(7):1465-1466,1494,3.

电源技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1002-087X

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