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MOVPE生长m面GaN薄膜的表面吸附研究

左朝朝 左然 童玉珍 张国义

人工晶体学报2016,Vol.45Issue(8):2022-2027,2033,7.
人工晶体学报2016,Vol.45Issue(8):2022-2027,2033,7.

MOVPE生长m面GaN薄膜的表面吸附研究

Study on Surface Adsoption of m-plane GaN Grown by MOVPE

左朝朝 1左然 1童玉珍 2张国义3

作者信息

  • 1. 江苏大学能源与动力工程学院,镇江212013
  • 2. 北京大学物理学院宽禁带半导体研究中心,北京100871
  • 3. 东莞中镓半导体科技有限公司,东莞523500
  • 折叠

摘要

关键词

m面GaN/MOVPE/表面吸附/密度泛函理论

Key words

m-plane GaN/MOVPE/surface adsorption/density functional theory

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

左朝朝,左然,童玉珍,张国义..MOVPE生长m面GaN薄膜的表面吸附研究[J].人工晶体学报,2016,45(8):2022-2027,2033,7.

基金项目

国家自然科学基金(61176009,61474058) (61176009,61474058)

国家重点基础研究发展计划(973计划)(2011CB013101) (973计划)

国家高技术研究发展计划(863计划)(2014AA032605) (863计划)

国家自然科学基金重大仪器装备专项(61327801) (61327801)

广东省引进创新科研团队计划(2009010044) (2009010044)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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