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基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究

麻磊 李淑娟 李浩 王嘉宾

人工晶体学报2016,Vol.45Issue(8):2067-2073,7.
人工晶体学报2016,Vol.45Issue(8):2067-2073,7.

基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究

Experimental Research on Monocrystalline Si High-speed Wire Sawing Force Based on RSM

麻磊 1李淑娟 1李浩 1王嘉宾1

作者信息

  • 1. 西安理工大学机械与精密仪器工程学院,西安710048
  • 折叠

摘要

关键词

曲面响应法/单晶Si/切割力

Key words

RSM/monocrystalline Si/cutting force

分类

机械制造

引用本文复制引用

麻磊,李淑娟,李浩,王嘉宾..基于RSM的单晶Si高速线锯切割力试验研究[J].人工晶体学报,2016,45(8):2067-2073,7.

基金项目

国家自然科学基金(51175442) (51175442)

陕西省基金重点项目(2016JZ011) (2016JZ011)

陕西省重点实验室项目(2014SZS10-Z01) (2014SZS10-Z01)

西安市碑林区项目(102-433415010) (102-433415010)

人工晶体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-985X

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