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机器视觉精密测量中的显微光学聚焦

徐征陈聿夫孙谦王晓东周宗磊

光学精密工程2016，Vol.24Issue(9)：2095-2100,6.

光学精密工程2016，Vol.24Issue(9)：2095-2100,6.DOI:10.3788/OPE.20162409.2095

机器视觉精密测量中的显微光学聚焦

Auto-focusing in optical microscopy for machine-vision-based precise measurement

徐征 ¹陈聿夫 ¹孙谦 ¹王晓东 ¹周宗磊¹

作者信息

1. 大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,辽宁大连116085
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摘要

关键词

机器视觉/显微成像/自动聚焦/微装配/微机电系统/综合定量评价

Key words

machine vision/microscopic imaging/auto-focusing/microassembly/Micro-electro-mechanical System(MEMS)/comprehensively quantitative evaluation

分类

信息技术与安全科学

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徐征,陈聿夫,孙谦,王晓东,周宗磊..机器视觉精密测量中的显微光学聚焦[J].光学精密工程,2016,24(9):2095-2100,6.

基金项目

国家科技重大专项基金资助项目(No.2013ZX04001091) （No.2013ZX04001091）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

ISSN：1004-924X

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