光学精密工程2016，Vol.24Issue(9)：2134-2141,8.DOI:10.3788/OPE.20162409.2134
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
Online detection of profile deviation for nano precision 2-D stage mirror
摘要
关键词
激光干涉仪/纳米二维工作台/测量镜/面形误差/在线检测Key words
laser interferometer/nano-2D stage/stage mirror/profile deviation/online detection分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘兆武,李文昊,王敬开,姜珊,宋莹,潘明忠,巴音贺希格..纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测[J].光学精密工程,2016,24(9):2134-2141,8.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901) （No.61227901）
