光学精密工程2016，Vol.24Issue(9)：2167-2172,6.DOI:10.3788/OPE.20162409.2167
被测件随机移相干涉面形测量方法
Surface measurement by randomly phase shifting interferometry of measured element
摘要
关键词
干涉测量/面形测量/被测件/移相器/随机移相/最小二乘迭代Key words
interferometry/surface measurement/measured element/phase shifter/randomly phase shifting/least-square iteration分类
机械制造引用本文复制引用
赵维谦,李文宇,赵齐,邱丽荣,王允..被测件随机移相干涉面形测量方法[J].光学精密工程,2016,24(9):2167-2172,6.基金项目
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61327010) （No.61327010）
国家自然科学基金青年基金资助项目(No.51405020) （No.51405020）
