光学精密工程2016,Vol.24Issue(9):2255-2261,7.DOI:10.3788/OPE.20162409.2255
压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证
Dynamic hysteresis modeling and experimental verification of piezoelectric positioning stage
摘要
关键词
压电微位移台/动态特性/迟滞特性/Bouc-Wen模型/运动定位Key words
piezoelectric positioning stage/dynamic characteristics/hysteresis characteristics/Bouc-Wen model/dynamic position分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
杨晓京,彭芸浩,李尧..压电微位移台的动态迟滞建模及实验验证[J].光学精密工程,2016,24(9):2255-2261,7.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51365021) (No.51365021)