光学精密工程2016，Vol.24Issue(9)：2271-2282,12.DOI:10.3788/OPE.20162409.2271
变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响
Variable coupling time grating sensor and effects of sensor-head attitudes on measuring errors
摘要
关键词
时栅传感器/位移测量/测头姿态/安装误差/测量精度Key words
time grating sensor/displacement measurement/sensor-head attitude/mounting error/measuring precision分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
鲁进,陈锡侯,汤其富,武亮..变耦型时栅传感器及测头姿态对测量误差的影响[J].光学精密工程,2016,24(9):2271-2282,12.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.51505052,No.51405049) （No.51505052,No.51405049）
重庆市科技研发基地能力提升项目(No.cstc2014pt-sy40002) （No.cstc2014pt-sy40002）
