人工晶体学报2016，Vol.45Issue(1)：73-79,7.
CVD金刚石化学机械抛光工艺研究
Study on the Chemical Mechanical Polishing Technique of CVD Diamond
摘要
关键词
CVD金刚石/化学机械抛光/工艺/高铁酸钾Key words
CVD diamond/chemical mechanical polishing/technique/potassium ferrate分类
机械制造引用本文复制引用
苑泽伟,金洙吉,李强,杜海洋..CVD金刚石化学机械抛光工艺研究[J].人工晶体学报,2016,45(1):73-79,7.基金项目
国家自然科学基金(51305278) （51305278）
教育部博士点基金(20132102120006) （20132102120006）
国家博士后基金(2014M551124) （2014M551124）
