材料科学与工程学报2016，Vol.34Issue(5)：689-693,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.05.001
微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化
Metallization of Microwave Dielectric Ceramic Resonators Using Magnetron Sputtering Technology
摘要
关键词
直流磁控溅射/介质谐振器/复合膜系/等离子清洗/Q值Key words
direct-current magnetron sputtering/microwave dielectric resonators/metallization films/plasma cleaning/Q value分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
魏淑萍,王德苗,金浩..微波介质陶瓷谐振器磁控溅射金属化[J].材料科学与工程学报,2016,34(5):689-693,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61204124) （61204124）
