材料科学与工程学报2016，Vol.34Issue(5)：776-779,793,5.DOI:10.14136/j.cnki.issn 1673-2812.2016.05.019
镶嵌纳米晶硅的氧化硅薄膜微观结构调整及其光吸收特性
Microstructure Adjustment and Optical Absorption Properties of Silicon Oxide Films Containing Silicon Nanocrystals
摘要
关键词
红外光谱/纳米晶硅/氧化硅/键合结构Key words
FTIR/nc-Si/SiOx/bonding structure分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
梅艳,贾曦,安彩虹,完继光,徐艳梅..镶嵌纳米晶硅的氧化硅薄膜微观结构调整及其光吸收特性[J].材料科学与工程学报,2016,34(5):776-779,793,5.基金项目
国家自然基金资助项目(2014MS167) （2014MS167）
中央高校基金资助项目(2014MS167) （2014MS167）
乐山职业技术学院院级课题资助项目(9KY2014034) （9KY2014034）
