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低压磷扩散工艺研究

李吉 孙朋涛 郑建宇 严金梅 魏红军 麻增智 赵朋松

太阳能Issue(9)：32-35,4.
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太阳能Issue(9)：32-35,4.

低压磷扩散工艺研究

李吉 1孙朋涛 2郑建宇 2严金梅 1魏红军 1麻增智 1赵朋松1

作者信息

  • 1. 晶澳太阳能有限公司
  • 2. 北京七星华创电子股份有限公司
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摘要

关键词

低压扩散/源流量/源瓶压力/泵压力/扩散时间

引用本文复制引用

李吉,孙朋涛,郑建宇,严金梅,魏红军,麻增智,赵朋松..低压磷扩散工艺研究[J].太阳能,2016,(9):32-35,4.

太阳能

1003-0417

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