天津师范大学学报（自然科学版）2016，Vol.36Issue(5)：28-32,5.
磁控溅射功率对Ti掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响
Effects of sputtering power on structure and opto-electrical properties of the Ti-doping ZnO thin films
摘要
关键词
射频磁控溅射/溅射功率/Ti掺杂TZO薄膜(TZO)/光电性能分类
数理科学引用本文复制引用
李园,黄美东,张建鹏,杨明敏,高倩..磁控溅射功率对Ti掺杂ZnO薄膜结构和光电性能的影响[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2016,36(5):28-32,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(61078059). （61078059）
