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沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响

徐洋

产业与科技论坛2016，Vol.15Issue(23)：62-63,2.
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产业与科技论坛2016，Vol.15Issue(23)：62-63,2.

沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响

徐洋1

作者信息

  • 1. 包头师范学院
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摘要

关键词

氮化硼薄膜/沉积时间/红外光谱/相转变

引用本文复制引用

徐洋..沉积时间对磁控溅射法制备氮化硼薄膜相结构的影响[J].产业与科技论坛,2016,15(23):62-63,2.

基金项目

本文为包头师范学院青年科技基金项目"正交氮化硼(oBN)薄膜的制备及相转变研究"(编号:BSYKJ2014-32)成果. （oBN）

产业与科技论坛

OACHSSCD

1673-5641

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