电源技术2016，Vol.40Issue(9)：1784-1787,4.
基于物理冶金多晶硅太阳电池的磷扩散工艺
Phosphorus diffusion process based on metallurgical grade silicon solar cells
摘要
关键词
冶金多晶硅/太阳电池/扩散工艺/方块电阻/均匀性Key words
metallurgical grade silicon/solar cells/diffusion/square resistance/uniformity分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
邹凯,和江变,李健,郭凯华,郭永强..基于物理冶金多晶硅太阳电池的磷扩散工艺[J].电源技术,2016,40(9):1784-1787,4.基金项目
呼和浩特市太阳能电池产业化工程研究中心创新能力建设项目(2014150101000015) （2014150101000015）
呼和浩特市“十二五”重大科技专项(2012150103000167) （2012150103000167）
