真空电子技术Issue(5)：7-10,4.
高导热Si3N4陶瓷基片材料的制备研究
Preparation of High Thermal Conductivity Si3N4 Ceramic Substrates
摘要
关键词
氮化硅基片/流延成型/硅粉氮化/气压烧结Key words
Silicon nitride substrate/Tape casting/Nitridation/Gas-pressure-sintering分类
化学化工引用本文复制引用
张景贤,段于森,江东亮,陈忠明,刘学建,黄政仁,杨建,李晓云,丘泰..高导热Si3N4陶瓷基片材料的制备研究[J].真空电子技术,2016,(5):7-10,4.基金项目
国家自然科学基金(51572277) （51572277）
高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室的资助 （）
